BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容膜片真空計將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設(shè)計旨在替代三個傳感器（熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關(guān)），從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。

益處

• BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
• 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過早燒毀
• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
  
• 易于更換的傳感元件與板載校準數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
  
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  
• RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

新聞
現(xiàn)有全新EtherCAT數(shù)字接口供應(yīng)！